超微量分析の利点を体験し、Thermo Scientificを使用することでオペレータが実験室アプリケーションのポートフォリオを拡張する™ Qtegra™ Intelligent Scientific Data Solution™ （ISDS）ソフトウェアは、三重四重極ロッドICP−MSを迅速に受け入れる。

Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MSはより強い干渉除去能力を持ち、様々な非常に挑戦的なマトリックス中の元素不純物をより良く検出することができる。iCAP TQ ICP-MSは敷地面積が小さいことに加え、簡単なワークフローを持ち、自動化方法の開発をサポートして特に使いやすく、重要な生産プロセスの一貫性を確保し、半導体シリコンウェハの加工生産量を向上させて近線品質制御を行うための理想的な検査ツールとなっている。

iCAP TQ ICP-MSを使用して、三重四重極ロッドICP-MSの性能と使いやすさによって検出限界を超える：

• 強力な三重四重極ロッド技術により、干渉除去能力と初回分析の正確性を高めることができる。

• 超低または挑戦的なマトリックス検出を行う。

• 独自のレスポンスクエリ方法を使用して、開発アシスタントが簡単に迅速に設定できます。

• 集積式反応ガス処理機能により、信頼性の高い計器操作を行う。

• 乾燥前段真空ポンプは室内環境の清潔を確保する。